1.可对应 100 毫米至 200 毫米的晶圆尺寸。

2.所有设备均内置搬运系统和对准机构，导入后可立即投入生产。

3.具备简单易懂的操作系统，任何人都能快速上手操作。

4.具备配方管理、日志管理等强大的生产管理功能，可切实保障品质管理。